湖北日?qǐng)?bào)訊 （記者張真真、通訊員張雋瑋）8月22日，武漢東湖高新區(qū)與國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的電子氣體公司湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“和遠(yuǎn)氣體”）簽署協(xié)議，和遠(yuǎn)氣體將在位于光谷的東湖綜保區(qū)建設(shè)電子氣體中心及全球總部。
在芯片制造過(guò)程中，不僅需要光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、硅片等核心設(shè)備或材料，還需要電子氣體。電子氣體是芯片制造上游原料之一，參與蝕刻、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié)。電子氣體有上百種，其化學(xué)性質(zhì)極其穩(wěn)定，純度要求在99.999%及以上，能夠保證芯片在制造過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性，被稱(chēng)為芯片制造的“血液”，是芯片制造中成本僅次于硅片的第二大耗材。隨著我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，電子氣體市場(chǎng)進(jìn)入快速發(fā)展期。目前，我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模已占全球六成以上。
據(jù)介紹，和遠(yuǎn)氣體是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的高純電子氣體生產(chǎn)商，具備同時(shí)為12英寸先進(jìn)工藝產(chǎn)線(xiàn)提供電子氣體和電子特氣能力。東湖高新區(qū)是全國(guó)四大集成電路產(chǎn)業(yè)基地之一，目前規(guī)劃建設(shè)的先進(jìn)工藝半導(dǎo)體項(xiàng)目已超10個(gè)，達(dá)產(chǎn)后年用氣經(jīng)濟(jì)規(guī)模將達(dá)30億元。
本次合作覆蓋股權(quán)投資、供應(yīng)鏈搭建、全球總部項(xiàng)目等，主要建設(shè)電子大宗氣體投資公司、國(guó)內(nèi)首個(gè)電子特氣供應(yīng)鏈平臺(tái)、集團(tuán)運(yùn)營(yíng)管理總部、研究中心等。這一重要項(xiàng)目落地，將進(jìn)一步補(bǔ)齊光谷集成電路產(chǎn)業(yè)上游材料關(guān)鍵環(huán)節(jié)，完善光谷集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。
